地 址：大連保稅區海航路9號 德國inficon高溫壓力計CDG160D
inficon高溫壓力計CDG160D功能簡介：
INFICOSKY CDG160D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與(yu) 控製的理想之選。CDG160D 真空計溫度控製在 160 °C，具有性能，適用於(yu) 苛刻的半導體(ti) 和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度範圍內(nei) 均可使用，帶有所有常用類型的法蘭(lan) 和現場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體(ti) 類型限製的對數壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳(chuan) 感器具有信號穩定性更佳、從(cong) 大氣恢複的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(you) 勢。INFICOCDG 壓力傳(chuan) 感器品質，成本效益，適用於(yu) 苛刻的半導體(ti) 、等離子和真空應用。
inficon高溫壓力計CDG160D優(you) 點
² 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
² 易於(yu) 集成，各種滿刻度、法蘭(lan) 和接口，標配兩(liang) 個(ge) 設定點
² 輕鬆一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點偏移
² 診斷端口便於(yu) 快速服務與(yu) 維護
² 兩(liang) 年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
² 信號穩定性和可重複性，即使是最嚴(yan) 苛的等離子應用，都無需長期執行重新校準
² 合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficon高溫壓力計CDG160D典型應用
ü ECT、CTD、PVD和其他半導體(ti) 生產(chan) 工藝
ü 化學和腐蝕性高溫過程
ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀(yi) 表保護
inficon高溫壓力計CDG160D規格
Ø 準確性閱讀%:0.4
Ø 精度%：0.003
Ø 輸出信號(模擬)V (dc)：0.. +10
Ø 響應時間：30ms
暴露於(yu) 真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L )
