德國Thyracont真空計在半導體行業的應用

德國Thyracont公司致力於(yu) 研發和生產(chan) 智能真空測量儀(yi) 表以及控製儀(yi) 表

我們(men) 的產(chan) 品組合包括真空傳(chuan) 感器、真空傳(chuan) 感器、真空計、真空開關(guan) 、控製器以及附件和真空組件。Thyracont真空計包括了薄膜規，電容規，電阻規，皮拉尼，熱陰極，冷陰極，以及複合真空規，滿足不同量程的需求。

應用於(yu) 半導體(ti) 行業(ye) ：

晶圓鍵合是半導體(ti) 技術中的一個(ge) 程序步驟，將兩(liang) 個(ge) 晶圓連接在一起。對於(yu) 某些應用，如芯片傳(chuan) 感器的封裝，該過程是在真空下進行的。

加載時，粘結室通過粗加工泵在旁路連接中抽真空，直到達到真空度，此時係統可以平穩切換到高真空泵。然後在高真空條件下進行粘合過程。在抽真空過程中，必須精確控製旁路中的絕對壓力，以防止損壞高真空係統。在晶圓鍵合過程中，必須監測腔室內(nei) 的真空度，以保證所需的結果。

用於(yu) 控製旁路循環。其陶瓷傳(chuan) 感器以所需的精度測量絕對壓力，並且幾乎無需維護。粘合過程的過程壓力通過帶有皮拉尼/冷陰極組合傳(chuan) 感器的VSM傳(chuan) 感器進行監控。

用於(yu) 測量粗真空範圍內(nei) 的絕對壓力。由於(yu) 其耐用的陶瓷傳(chuan) 感器，它對汙垢和汙染幾乎不敏感

耐化學腐蝕：帶氟橡膠密封的陶瓷傳(chuan) 感器

可靠：高可靠性和長期穩定性

獨立：測量不受氣體(ti) 類型的影響

快速：響應時間短，可達 20 ms

堅固耐用： 耐髒汙

可根據要求提供控製器：適用於(yu) Thyracont 1 和 2 通道控製器 VD6 / VD12

標準化線性輸出信號 0-10 V（四線）或 4-20 mA（兩(liang) 線）

帶皮拉尼/冷陰極傳(chuan) 感器的：

· 長壽命：通過皮拉尼自動控製冷陰極，冷陰極在低壓下接通可延長使用壽命，對空氣湧入不敏感

· 可靠： 出色的點火性能

· 低雜散磁場

· 超壓穩定：過壓穩定性高達 16 bar

· 金屬密封不鏽鋼傳(chuan) 感器單元，適用於(yu) 特高壓應用（浸出率<5e-10毫巴升/秒）

· 防護等級高達 IP54

· 多種接口：數字RS485接口加上0-10 V輸出信號，EtherCAT或PROFINET。

· 繼電器開關(guan) 點：兩(liang) 個(ge) 獨立的、無電勢的繼電器開關(guan) 點