地 址：大連保稅區海航路9號
標題：荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列
主要產(chan) 品
SparkNano的主要產(chan) 品包括空間原子層沉積係統，具體(ti) 有：
SparkNano LabLine™
SparkNano Omega™
SparkNano Vellum™
荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列產(chan) 品介紹：
荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列
產(chan) 品介紹
SparkNano LabLine™是一種用於(yu) 研究和開發的空間原子層沉積係統，支持多種基板類型和工藝過程。係統采用空間原子層沉積技術，通過將前驅體(ti) 和共反應物在空間上分離，實現薄膜的逐層沉積。
技術參數包括：
基板類型：平麵和多孔基板，如晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔
前驅體(ti) 和共反應物：標準配置最多四個(ge) 前驅體(ti) 連接，共反應物包括H₂O，可選等離子體(ti) （如O₃、H₂、O₂）
樣品麵積：最大420 mm x 300 mm
沉積溫度：熱S-ALD為(wei) 50°C–250°C，等離子體(ti) 增強S-ALD為(wei) 50°C–200°C
基板加載：手動，通過兩(liang) 個(ge) 前室（一小一大）
係統尺寸：4.0米（寬）x 3.6米（深）x 2.1米（高）
荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列優(you) 勢特點
Ø 係統具有較高的沉積速度，適應快速研發需求。
Ø 可處理多種基板類型，包括平麵和多孔材料。
Ø 係統配置靈活，支持多種前驅體(ti) 和共反應物選項。
Ø 從(cong) 實驗室到生產(chan) 的過渡較為(wei) 順暢，支持規模化擴展。
荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列主要應用：
荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列
太陽能電池
氫能技術
顯示器件
電池製造
