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德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板核心技術與優勢
更新時間:2025-11-24   點擊次數:215次

德國Technologie-Manufaktur顯微鏡分辨率測試板 TC-RT03 -赫爾納優(you) 勢供應

產(chan) 品概述

德國Technologie-Manufaktur公司生產(chan) 的,主要用於(yu) 校準、驗證和評估各類光學顯微鏡(如廣角鏡、激光掃描顯微鏡等)的分辨率、對比度和成像性能。其核心采用先進的電子束光刻技術製造,確保了納米級別的結構精度,是光學實驗室和質量控製中基準工具。

核心技術與(yu) 優(you) 勢

超高精度製造:采用電子束光刻技術直接在鉻層上燒蝕生成測試結構,最小結構尺寸可低至100納米,確保了佳的尺寸公差(低至14納米)和結構邊緣的直線度。

優(you) 異的光學性能:

基底材料:使用石英(熔融二氧化矽),提供從(cong) 深紫外到近紅外(190nm - 2000nm)的極寬光譜透射範圍,適用於(yu) 多種光源。

高對比度:鉻層提供了高的光密度,通過燒蝕形成的測試結構是透明的,而背景是不透光的鉻層,從(cong) 而產(chan) 生極其銳利的高對比度圖像。

堅固耐用的設計:測試芯片被牢固地封裝在一個(ge) 激光雕刻的不鏽鋼支架(75mm x 25mm) 中,符合標準顯微鏡載玻片尺寸,便於(yu) 操作和保存。

主要技術參數

參數項目 規格說明

產(chan) 品型號 TC-RT03 MAT

有效基底 石英晶圓(熔融二氧化矽),尺寸:10mm x 10mm x 1.0mm

封裝支架 不鏽鋼,尺寸:75mm x 25mm x 1.5mm

結構層 鉻層,高光密度 (>3.6 @ 1µm)

關(guan) 鍵結構 可變線對(最高可達3300 LP/mm以上)、針孔陣列(20x20)、棋盤格、邊緣MTF區域

製造工藝 電子束光刻

光譜範圍 190納米 - 2000納米

可選配置 0.17mm ± 5µm 蓋玻片(專(zhuan) 用於(yu) 高倍物鏡)

主要應用領域

顯微鏡校準與(yu) 分辨率測試:精確測量光學顯微鏡在不同放大倍數(從(cong) 10x100x物鏡)下的極限分辨率。

成像係統性能評估:用於(yu) 評估包括激光掃描顯微鏡在內(nei) 的各種成像係統的調製傳(chuan) 遞函數(MTF)、對比度和像差。

科學研究與(yu) 質量控製:在生命科學、材料科學、半導體(ti) 檢測等領域,作為(wei) 驗證儀(yi) 器性能和確保測量一致性的標準件。

品牌與(yu) 產(chan) 品線

德國Technologie-Manufaktur 是一家在精密光學領域享有盛譽的製造商。除了高精度的分辨率測試板(定位板)外,其產(chan) 品線還包括:

傳(chuan) 感器

攝像頭

遠程顯微鏡

總結

集成了頂尖的製造工藝和優(you) 質材料,為(wei) 光學成像領域提供了可靠且高精度的測量基準。無論是用於(yu) 前沿科學研究還是嚴(yan) 格的工業(ye) 質量控製,它都是確保顯微鏡係統處於(yu) 最佳工作狀態的理想工具。



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