地 址：大連保稅區海航路9號
代理德國Thyracont熱陰極真空計VSH88赫爾納供應
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀(yi) 器有限公司）是一家源於(yu) 德國的真空測量設備製造企業(ye) 。該公司始於(yu) 1970年，致力於(yu) 真空測量技術的開發和生產(chan) ，其業(ye) 務涵蓋真空傳(chuan) 感器、真空計、真空開關(guan) 、控製器及相關(guan) 真空組件的供應，並為(wei) 真空泵和真空處理設備製造商提供產(chan) 品。Thyracont的產(chan) 品應用於(yu) 流程工業(ye) 、塗層、分析與(yu) 研發以及半導體(ti) 和太陽能等多個(ge) 領域。
Thyracont主要產(chan) 品類型
1. 真空計 (Vacuum Gauges)
2. 真空傳(chuan) 感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guan) (Vacuum Switches)
4. 控製器 (Controllers)
5. 數字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空係統控製器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSH88 係列 (超高真空計，含VSH88D, VSH88DL, VSH88E等型號)
2. VD8係列 (便攜式數字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH係列 (其他超高真空計，如VSH87, VSH89)
4. VD6 (單通道真空顯示與(yu) 控製單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與(yu) 控製單元)
6. VRC (電子真空開關(guan) )
7. Smartline係列 (數字真空變送器)
8. VD800 (緊湊型真空計)
VSH88產(chan) 品介紹
VSH88是Thyracont公司生產(chan) 的一款組合了皮拉尼（Pirani）和熱陰極（Bayard-Alpert規）原理的智能數字真空計/變送器，屬於(yu) 其Smartline產(chan) 品線，用於(yu) 從(cong) 粗真空到超高真空（UHV）範圍的絕對壓力（Absolute Pressure） 測量。
技術參數
特性 | 參數值 |
測量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 熱陰極（Bayard-Alpert規）（依據氣體(ti) 不同） |
測量範圍 | 1000 – 5×10⁻¹⁰ mbar (1000 – 0.0000000005 mbar) / 750 – 5×10⁻¹⁰ Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 讀數、10-1×10⁻⁸ mbar: <10% 讀數 |
重複性 | ±2% (10-1×10⁻² mbar)、±5% (1×10⁻²-1×10⁻⁸ mbar) |
響應時間 | < 200 ms (開關(guan) BA發射電流時是2秒) |
輸出信號 | VSH88D: 0-10 VDC (對數輸出) & RS485; VSH88DL: 同D型，帶LCD顯示； VSH88E: RS485 和 EtherCAT |
供電電源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 40 ISO-KF |
接觸真空材料 | 不鏽鋼 1.4307, Ni, W, Pt, 釔塗銥, 玻璃 |
過載保護 | 可達 4 bar (絕對壓力) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
烘烤溫度 | 法蘭(lan) （電氣分離）上的溫度180℃ |
防護等級 | IP54 (VSH88E) / IP40 (VSH88D/DL) |
電氣連接 | VSH88D/DL: Sub-D, 15針; VSH88E: M12圓形接頭 |
重量 | 約 555 g |
工作原理
VSH88采用了組合傳(chuan) 感器技術，集成了皮拉尼（Pirani）傳(chuan) 感器和熱陰極（Bayard-Alpert規）傳(chuan) 感器。皮拉尼傳(chuan) 感器基於(yu) 氣體(ti) 導熱原理，適用於(yu) 中低真空範圍（從(cong) 大氣壓至約10⁻³ mbar），其測量結果會(hui) 受氣體(ti) 類型影響。熱陰極傳(chuan) 感器（Bayard-Alpert規）基於(yu) 熱陰極發射電子使氣體(ti) 分子電離的原理，適用於(yu) 高真空和超高真空範圍（從(cong) 10⁻³ mbar延伸至5×10⁻¹⁰ mbar），其測量結果同樣受氣體(ti) 類型影響。內(nei) 置的微處理器自動控製兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器之間的切換與(yu) 協同工作（Pirani傳(chuan) 感器可保證熱陰極在低壓時的正常操作，並有助於(yu) 延長其使用壽命），從(cong) 而實現從(cong) 大氣壓到超高真空的寬範圍連續測量，並提供經過處理和補償(chang) 的信號輸出。
優(you) 勢特點
1. 極寬的測量範圍與(yu) 自動管理：結合皮拉尼和熱陰極兩(liang) 種原理，實現了從(cong) 1000 mbar到5×10⁻¹⁰ mbar的極寬量程覆蓋。微處理器自動管理兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器間的交互，Pirani傳(chuan) 感器有助於(yu) 優(you) 化熱陰極傳(chuan) 感器的工作並延長其使用壽命。
2. 結構設計與(yu) 材料選擇：采用金屬密封的不鏽鋼測量元件和金屬外殼，適用於(yu) 高真空（UHV）和超高真空應用。熱陰極部分采用塗釔銥絲(si) （Bayard-Alpert規），有助於(yu) 穩定性和耐久性。
3. 接口豐(feng) 富與(yu) 功能集成：提供多種輸出接口選擇，包括模擬量（0-10V）、RS485數字接口，以及EtherCAT現場總線（VSH88E），便於(yu) 連接PLC和控製係統。提供兩(liang) 個(ge) 獨立的繼電器開關(guan) 點，可用於(yu) 過程控製或報警。部分型號配備LCD顯示，用於(yu) 狀態指示。
4. 維護與(yu) 校準便利：傳(chuan) 感器探頭設計為(wei) 可更換式。支持通過前麵板按鍵或軟件接口調整零點和大氣壓，並可為(wei) 不同氣體(ti) 設置校正因子以校準壓力讀數。
主要應用
代理德國Thyracont熱陰極真空計VSH88真空計可應用於(yu) 多個(ge) 需要寬範圍真空測量與(yu) 控製的領域，尤其是涉及高真空和超高真空的工藝過程，例如：
1. 分析儀(yi) 器：用於(yu) 電子顯微鏡、質譜儀(yi) 等精密分析儀(yi) 器中真空度的監控。
2. 鍍膜與(yu) 氣相沉積係統：用於(yu) 物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等鍍膜工藝過程中真空度的監控與(yu) 控製。
3. 真空爐與(yu) 熱處理：用於(yu) 高溫真空爐、材料燒結或合成設備中的壓力監控。
4. 超高真空測量與(yu) 控製：任何需要監測或控製從(cong) 粗真空到超高真空範圍的場合，例如空間模擬。
5. 過程工程：用於(yu) 半導體(ti) 製造、太陽能電池生產(chan) 等流程工業(ye) 中涉及高真空過程的設備。
赫爾友道，融中納德-----我們(men) 無假貨，我們(men) 價(jia) 格實惠，我們(men) 品質！
