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代理德國Thyracont冷陰極真空計VSM77赫爾納供應
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀(yi) 器有限公司）是一家源於(yu) 德國的真空測量設備製造企業(ye) 。該公司始於(yu) 1970年，致力於(yu) 真空測量技術的開發和生產(chan) ，其業(ye) 務涵蓋真空傳(chuan) 感器、真空計、真空開關(guan) 、控製器及相關(guan) 真空組件的供應，並為(wei) 真空泵和真空處理設備製造商提供產(chan) 品。Thyracont的產(chan) 品應用於(yu) 流程工業(ye) 、塗層、分析與(yu) 研發以及半導體(ti) 和太陽能等多個(ge) 領域。
Thyracont主要產(chan) 品類型
1. 真空計 (Vacuum Gauges)
2. 真空傳(chuan) 感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guan) (Vacuum Switches)
4. 控製器 (Controllers)
5. 數字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空係統控製器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSM77 係列 (皮拉尼/冷陰極組合式真空變送器，含VSM77D, VSM77DL, VSM77E等型號)
2. VD8係列 (便攜式數字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH係列 (冷陰極真空計)
4. VD6 (單通道真空顯示與(yu) 控製單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與(yu) 控製單元)
6. VRC (電子真空開關(guan) )
7. Smartline係列 (數字真空變送器)
8. VD800 (緊湊型真空計)
代理德國Thyracont冷陰極真空計VSM77產(chan) 品介紹
VSM77是Thyracont公司生產(chan) 的一款組合了皮拉尼（Pirani）和冷陰極（Cold Cathode）原理的智能數字真空變送器，用於(yu) 從(cong) 粗真空到超高真空（UHV）範圍的絕對壓力（Absolute Pressure） 測量，屬於(yu) 其Smartline產(chan) 品線。
技術參數
特性 | 參數值 |
測量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 冷陰極（倒置磁控管式）組合傳(chuan) 感器 |
測量範圍 | 1000 – 5×10⁻⁹ mbar (1000 – 0.000000005 mbar) / 750 – 5×10⁻⁹ Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 讀數、10-2×10⁻³ mbar: <10% 讀數、2×10⁻³-1×10⁻⁸ mbar: <25% 讀數 |
重複性 | 10-1×10⁻² mbar: ±2% 讀數、1×10⁻²-1×10⁻⁸ mbar: ±7% 讀數 |
響應時間 | < 200 ms |
輸出信號 | 0-10 VDC (對數輸出，測量範圍1.82-8.6 V)；RS485串行接口；部分型號支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 25 ISO-KF |
接觸真空材料 | 不鏽鋼 1.4307, 鎢, 鎳, 玻璃, 鉬, Al₂O₃陶瓷 |
過載保護 | 可達 10 bar (16 bar 可選 CERT31P) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
防護等級 | IP40 (VSM77D/DL) 或 IP54 (VSM77E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D 15針 (VSM77D/DL) 或 M12 連接器 (VSM77E) |
重量 | 約 555 g |
工作原理
VSM77采用了組合傳(chuan) 感器技術，集成了皮拉尼（Pirani）傳(chuan) 感器和冷陰極（Cold Cathode）傳(chuan) 感器。皮拉尼傳(chuan) 感器基於(yu) 氣體(ti) 導熱原理，適用於(yu) 中低真空範圍（通常從(cong) 大氣壓至約10⁻³ mbar），其測量結果會(hui) 受氣體(ti) 類型影響。冷陰極傳(chuan) 感器（采用倒置磁控管設計）基於(yu) 氣體(ti) 分子在強電場中發生電離產(chan) 生離子流的原理，適用於(yu) 高真空和超高真空範圍（從(cong) 10⁻³ mbar延伸至5×10⁻⁹ mbar），其測量結果同樣受氣體(ti) 類型影響。內(nei) 置的微處理器自動控製兩(liang) 個(ge) 傳(chuan) 感器之間的切換與(yu) 數據融合，從(cong) 而實現從(cong) 大氣壓到超高真空的寬範圍連續測量，並提供經過處理和補償(chang) 的信號輸出。
優(you) 勢特點
1. 極寬的測量範圍與(yu) 自動切換：結合皮拉尼和冷陰極兩(liang) 種原理，實現了從(cong) 1000 mbar到5×10⁻⁹ mbar的極寬量程覆蓋，並能自動在不同真空度區間切換傳(chuan) 感器工作，減少了冷陰極在較高壓力下的不必要的運行，有助於(yu) 延長其使用壽命。
2. 結構設計與(yu) 耐用性：采用金屬密封的不鏽鋼測量元件，適用於(yu) 高真空（UHV）和超高真空應用。具備較高的過壓保護能力（可達10 bar，可選16 bar）。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護等級，適應工業(ye) 環境。
3. 接口豐(feng) 富與(yu) 集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數字接口，部分型號支持EtherCAT或Profinet現場總線，便於(yu) 連接PLC和控製係統。提供兩(liang) 個(ge) 獨立的無電勢繼電器開關(guan) 點，可用於(yu) 過程控製或報警。
4. 維護與(yu) 校準便利：傳(chuan) 感器探頭設計為(wei) 可更換式，且更換探頭時存儲(chu) 的校準數據可隨之轉移，簡化了維護工作。支持通過按鈕或軟件界麵進行零點和大氣壓的調整。
主要應用
VSM77真空變送器可應用於(yu) 多個(ge) 需要寬範圍真空測量與(yu) 控製的領域，尤其是涉及高真空和超高真空的工藝過程，例如：
1. 分析儀(yi) 器：用於(yu) 質譜儀(yi) 、電子顯微鏡等精密分析儀(yi) 器中真空度的監控。
2. 鍍膜與(yu) 氣相沉積係統：用於(yu) 物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等鍍膜工藝過程中真空度的監控與(yu) 控製。
3. 真空爐與(yu) 材料研究：用於(yu) 高溫真空爐、材料燒結或合成設備中的壓力監控，確保高純度無氧環境。
4. 過程工程：用於(yu) 半導體(ti) 製造、太陽能電池生產(chan) 等流程工業(ye) 中涉及高真空過程的設備。
5. 超高真空測量與(yu) 控製：任何需要監測或控製從(cong) 粗真空到超高真空範圍的場合。
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