標題：荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列

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公司簡介

SparkNano是一家專(zhuan) 注於(yu) 空間原子層沉積（Spatial ALD）技術的企業(ye) ，總部位於(yu) 荷蘭(lan) 埃因霍溫。公司致力於(yu) 研發和生產(chan) 空間原子層沉積設備，服務於(yu) 多個(ge) 工業(ye) 領域的研究與(yu) 生產(chan) 需求。

主要產(chan) 品

SparkNano的主要產(chan) 品包括空間原子層沉積係統，具體(ti) 有：

SparkNano LabLine™

SparkNano Omega™

SparkNano Vellum™

荷蘭(lan) SPARKNANO沉積自動化Nano係統產(chan) 品介紹：

荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列

產(chan) 品介紹

SparkNano LabLine™是一種用於(yu) 研究和開發的空間原子層沉積係統，支持多種基板類型和工藝過程。係統采用空間原子層沉積技術，通過將前驅體(ti) 和共反應物在空間上分離，實現薄膜的逐層沉積。

技術參數包括：

基板類型：平麵和多孔基板，如晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔

前驅體(ti) 和共反應物：標準配置最多四個(ge) 前驅體(ti) 連接，共反應物包括H₂O，可選等離子體(ti) （如O₃、H₂、O₂）

樣品麵積：最大420 mm x 300 mm

沉積溫度：熱S-ALD為(wei) 50°C–250°C，等離子體(ti) 增強S-ALD為(wei) 50°C–200°C

基板加載：手動，通過兩(liang) 個(ge) 前室（一小一大）

係統尺寸：4.0米（寬）x 3.6米（深）x 2.1米（高）

荷蘭(lan) SPARKNANO沉積自動化Nano係統優(you) 勢特點

Ø 係統具有較高的沉積速度，適應快速研發需求。

Ø 可處理多種基板類型，包括平麵和多孔材料。

Ø 係統配置靈活，支持多種前驅體(ti) 和共反應物選項。

Ø 從(cong) 實驗室到生產(chan) 的過渡較為(wei) 順暢，支持規模化擴展。

荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列主要應用：

荷蘭(lan) SPARKNANO原子層沉積係統Nano產(chan) 品係列

太陽能電池

氫能技術

顯示器件

電池製造

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