德國EVOCHEM蒸發材料EVOCHEM ETC-TOP

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1、 公司簡介

EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家致力於(yu) 提供薄膜應用材料的公司，其產(chan) 品組合涵蓋各種蒸發材料和配件、濺射靶材以及晶體(ti) 監測等產(chan) 品。該公司為(wei) 薄膜應用提供較全麵的材料係列，覆蓋光學和配件、磨損和裝飾塗層、微電子和半導體(ti) 、光學數據存儲(chu) 、顯示器和太陽能電池等多個(ge) 領域。

在蒸發材料方麵，EVOCHEM提供超過60種不同成分的材料，包括特殊混合物和物質，以及氟化物、氧化物、硫化物和金屬，這些材料可以顆粒、片劑或圓盤形式提供。該公司擁有定製製造任何所需形狀和純度的生產(chan) 能力，數量從(cong) 幾克到幾百公斤不等。

2、 產(chan) 品類型

EVOCHEM的蒸發材料產(chan) 品線覆蓋了多種化學成分和材料類型，以下是一些主要產(chan) 品分類：

純金屬蒸發材料：涵蓋從(cong) 鋁到鋯的多種金屬，提供廣泛的純度範圍

氧化物蒸發材料：用於(yu) 光學塗層和其他應用領域的氧化物材料

混合物蒸發材料：多種成分的混合蒸發材料

硼化物/碳化物蒸發材料：適用於(yu) 特殊應用需求的硼化物和碳化物

氟化物蒸發材料：用於(yu) 特定光學性能的氟化物材料

碲化物蒸發材料：滿足特殊塗層需求的碲化物

氮化物蒸發材料：用於(yu) 形成氮化物塗層的蒸發材料

硫化物/硒化物蒸發材料：包含硫化物和硒化物的蒸發材料

3、 主要型號

EVOCHEM的蒸發材料以多種形態提供，以下是其代表性產(chan) 品係列：

蒸發材料顆粒

蒸發材料片劑

蒸發材料圓盤

蒸發材料棒材

蒸發材料線材

蒸發材料粉末

蒸發材料箔材

蒸發材料管材

蒸發材料靶材

4、 產(chan) 品介紹

4.1、 純金屬蒸發材料

EVOCHEM提供多種純金屬和超純金屬產(chan) 品，幾乎包括從(cong) 鋁到鋯的金屬。這些金屬的數量和形式範圍很廣，包括粉末、線材、箔、片材、棒材、管材和靶材。提供的純度範圍為(wei) 99.00% - 99.999999%。

4.2、 疏水材料ETC-TOP

EVOCHEM ETC-TOP代表了ETC產(chan) 品係列的入門級質量，具有高耐磨性和良好的易清潔性能。該材料可以提供大於(yu) 105°的接觸角，可以通過電阻加熱船以及使用麵漆內(nei) 襯的電子束沉積。

技術參數：

蒸發溫度範圍為(wei) 400 - 800°C（推薦600°C）

腔室壓力：<4x10-5毫巴

塗層厚度：約10至20納米

襯底溫度：AR塗層CR39玻璃60℃

片劑的存儲(chu) ：6個(ge) 月(未開封)在陰涼幹燥條件下

4.3、 疏水材料ETC-PRO

EVOCHEM ETC-PRO是眼科行業(ye) 的專(zhuan) 用產(chan) 品線，具有高耐磨性和易於(yu) 清潔的表麵特性。該材料通過氣相沉積施加在SiO2層上，能提供117°的水接觸角。在整個(ge) 測試過程中，即使在1kg壓力下循環8000次後，接觸角也不會(hui) 低於(yu) 105°。

4.4、 疏水材料ETC-PRO UV+

EVOCHEM ETC-PRO UV+是具有更高耐氣候要求的納米塗層產(chan) 品線。該材料顯著提高了紫外線照射下的耐汙性和耐化學性，同時保持高度光滑的表麵。即使在600小時QUV和990小時氙弧燈測試條件下，PRO UV+塗層物質的接觸角也能保持在>100°。

4.5、 工作原理

EVOCHEM疏水材料的工作原理是：材料的一端與(yu) 其分子鏈的一端形成共價(jia) 、高度穩定的氧化物表麵（例如SiO2），而另一端（全氟化）則遠離表麵對齊。因此，具有易於(yu) 清潔的特性。此外，塗層（例如AR層）和基材本身受到非常光滑和耐磨的納米層的保護。

物理氣相沉積工藝（PVD工藝）是EVOCHEM蒸發材料使用的一種沉積工藝，其中蒸發材料以原子的形式從(cong) 固體(ti) 源蒸發，並以蒸汽的形式通過真空或低壓（或等離子體(ti) ）環境傳(chuan) 輸到蒸汽聚集的基材。

5、 優(you) 勢特點

EVOCHEM蒸發材料具有多個(ge) 特點，使其在薄膜沉積過程中表現出較好的性能：

高純度材料：EVOCHEM提供的純金屬和超純金屬產(chan) 品，純度範圍從(cong) 99.00%至99.999999%。高純度有助於(yu) 實現預期的塗層特性，減少雜質對薄膜性能的影響。

低噴濺特性：這一特點允許為(wei) 關(guan) 鍵應用提供低缺陷塗層，減少了後續處理工序，提高了產(chan) 品的合格率。

優(you) 化的熔煉性能：材料經過優(you) 化設計，提高了生產(chan) 過程中的產(chan) 量，降低了單位生產(chan) 成本。

形態多樣性：EVOCHEM蒸發材料提供多種形態，包括粉末、線材、箔、片材、棒材、管材和靶材等。多樣的形態使得這些材料能夠適應不同的蒸發源和設備需求。

環境友好：EVOCHEM的新產(chan) 品組合已經符合最新的立法要求，其中產(chan) 品或整個(ge) 生產(chan) 過程中均不存在全氟辛烷磺酸（PFOS）和全氟辛酸（PFOA）。

6、 主要應用

EVOCHEM蒸發材料廣泛應用於(yu) 多個(ge) 行業(ye) 的薄膜製備過程，主要涵蓋以下領域：

光學薄膜領域：用於(yu) 製備光學幹涉塗層、鏡麵塗層、防反射塗層（AR）和光束分離塗層等。這些塗層廣泛應用於(yu) 各類光學元件和係統。

微電子與(yu) 半導體(ti) 領域：用於(yu) 沉積導電薄膜（包括TCO薄膜和ITO），這些薄膜是微電子器件和半導體(ti) 裝置的關(guan) 鍵組成部分。

裝飾與(yu) 防護塗層：應用於(yu) 裝飾塗層、耐磨塗層和防腐蝕塗層，為(wei) 產(chan) 品提供美觀外觀和延長使用壽命。

顯示與(yu) 能源領域：用於(yu) 顯示器、光學數據存儲(chu) 和太陽能電池等應用的薄膜製備。

眼科行業(ye) ：EVOCHEM的ETC-PRO產(chan) 品線是眼科行業(ye) 的專(zhuan) 用產(chan) 品，具有較高的耐磨性和易於(yu) 清潔的表麵特性。

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